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工业相机搭配的光源在半导体机器视觉系统中的核心作用
发布时间:2026-11-11 09:57:37
在机器视觉系统中,光源不只是简单的照明工具,更是把不可见缺陷转化为可见图像的核心部件,它可以提高工业相机成像效果。

在半导体机器视觉系统中,四大核心功能如下:
·特征增强:通过不同角度、不同类型光源,放大划痕、颗粒、边缘轮廓、字符等微弱特征,例如条光、环形光,将危机下异物凸显为亮点。
·抑制反光干扰:同轴光、偏振、光度立体多图融合,压制晶圆镜面反射,消除复杂背景干扰,提取有效目标信息。
·多模式成像兼容:明场、暗场、光度立体、光致发光、多光谱组合成像,同一工位可采集多组图像,分别捕捉不同类型缺陷。
·高速频闪同步:支持频闪输出,与产线运动信号同步,满足飞拍场景短曝光成像,消除运动模糊,适配高速半导体产线。
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