紫外工业相机的应用

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发布时间：2025-07-15 10:00:28

工业相机常见的有面阵相机、线阵相机、黑白相机、彩色相机，根据不同的分类依据，工业相机可分为多种类型。根据芯片形式、芯片材质、输出图像颜色等不同参考系列。如果按照光谱波段范围的不同，可以分为可见光（普通）相机、红外相机、紫外相机等，下面我来看看UV紫外相机及其应用。
在机器视觉领域，根据波长的不同，紫外线可划分为三个主要波段：
1.UVA波段（320-400nm）：
波长最长的紫外波段
部分高灵敏度可见光相机可检测到
2.UVB波段（280-320nm）：
中等波长范围
需使用专业紫外相机进行观测
对设备灵敏度和观测精度要求较高
3.UVC波段（100-280nm）：
波长最短的紫外波段
具有最强的光子能量

在晶圆制造以及检测方面的应用有裸晶圆检测、图案晶圆检查、光掩模对准以及晶圆键合等。图案晶圆的检测对象主要是晶圆表面在进行图案光刻时可能产生的缺陷或错误，例如，晶圆表面上图案的缺陷、错位以及特征缺失等。利用晶圆表面的图案和周围材料对紫外线的反射或吸收程度不同的特性，配合算法分析图像，可以更加准确地确定晶圆上缺陷的大小、形状和位置。

充分利用各应用场景的紫外特性，增加或使用紫外光源、紫外相机模组，捕捉晶圆表面的高分辨率图像，使用图像处理算法进行图像分析，可以对各种缺陷进行识别和分类，有效提高污染或者缺陷检出率，综合提升设备可靠性和专业性，精准解决终端制造检测的难点和痛点。

电子产品和电弧/电晕检查，电弧/电晕本质都是大气压下的空气放电，空气中的电子在不均匀的高强度电场中运动，击穿空气，在放电的过程中会伴随着产生光、声、臭氧、热量以及化学物质等。目前，除了利用超声波检测技术、红外热像检测技术，紫外特性也越来越被重视，利用紫外光学成像系统，不仅可以直接观察电弧/电晕的放电位置，还可以获知电弧/电晕的强度情况，获得电力设备的放电分布与强度等多方位的信息。

医疗领域，真菌或者细菌对紫外线较为敏感，在紫外环境下会发出各种颜色的荧光。紫外线还可凸显皮肤色素（黑色素），使色素更加清晰可见。如白癜风，白癜风色素缺失在紫外环境下发象牙白色荧光，而色素减退皮损则不发光。癣在紫外环境下发出特征性亮橙红色荧光，由犬微孢子菌和头癣小孢霉菌引起的头癣会发出亮绿色荧光。而皮肤假单胞菌Pseudomonas感染（如烧伤患者）早期，则有绿色荧光的特性。利用这些特性搭建紫外检测环境以及系统设备，配合优秀的算法进行查找识别，患者的检查体验或许会变得更加奇妙。